针对原子力显微镜(AFM)在高速扫描下成像误差大的缺点,提出了一种基于压电扫描管动态特 性的改进成像方法,并对这种成像方法的性能进行了理论分析和实验验证。...
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      作者
              董晓坤;方勇纯;周娴玮;张玉东
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              高技术通讯
年份
              针对原子力显微镜(AFM)在高速扫描下成像误差大的缺点,提出了一种基于压电扫描管动态特 性的改进成像方法,并对这种成像方法的性能进行了理论分析和实验验证。...
董晓坤;方勇纯;周娴玮;张玉东
高技术通讯